209 ULSIセル内部の熱酸化膜形成時に生ずる転位のシミュレーション(材料力学V)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2011-10-01

著者

• 大橋 鉄也

  北見工業大学

• 大橋 鉄也

  北見工大

• 佐藤 満弘

  北見工大

• 長谷川 直哉

  北見工大院

• 丸泉 琢也

  東京都市大

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