小型呼気センシングシステムを目指したSOIハイメサ導波路の伝搬損失低減と高感度化の為の検討(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,一般)
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概要
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日常的かつ手軽に日々の健康状態を確認するための携行可能な健康診断システムの実現を目指し,光導波路を用いた赤外吸収呼気分析デバイスの試作・検討を行っている.今回,高感度に呼気成分を検知する上での障害となる導波路損失の低減のため,NLD (Magnetic Neutral Loop Discharge)プラズマエッチング法を適用し,SOI基板上にハイメサ導波路を試作した.その結果,通常のRIE (Reactive Ion Etching)法で製作した導波路と比較し,約50%損失を低減できた.また,ガス検知部に適用する2重ハイメサ導波路について,光気相分布率の更なる向上を目指して検討を行った.導波路幅・導波路間隔をこれまでの設計よりも小さくすることで,光気相分布率89.3%という結果が得られた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-10-25
著者
-
浜本 貴一
九州大学 総合理工学府
-
浜本 貴一
九州大学総合理工学府
-
松永 泰成
九州大学総合理工学府量子プロセス理工学専攻
-
亀山 康介
九州大学総合理工学府量子プロセス理工学専攻
-
亀山 康介
九州大学総合理工学府
-
松永 泰成
九州大学総合理工学府
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