10-9 超高感度分析装置のマッピングデータの可視化
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概要
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The performance of Liquid Crystal Display (LCD) has rapidly improved over the past several years. In the meantime failures and previously unreported phenomena have occurred and some of them are caused by low-level impurity contamination with organic or inorganic materials and the non-uniform distribution of these materials in large area of LCD. In order to analyze the failures, time-of-flight secondary ion mass spectrometry (TOF-SIMS) analysis was applied. Visualization for mapping data of TOF-SIMS was successfully demonstrated. Its technology can be applicable to prompt analysis of LCD failures.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2001-08-27
著者
-
森 由美
日本アイ・ピー・エム株式会社エンジニアリング&テクノロジーサービス
-
辻 智
日本アイ・ビー・エム株式会社APTO品質
-
高辻 博史
日本アイ・ビー・エム(株)
-
辻 智
日本アイ・ビー・エム株式会社大和事業所apto品質・プロセス
-
辻 智
日本アイ・ビー・エム(株) ディスプレー・テクノロジー
-
森 由美
日本アイ・ビー・エム(株)エンジニアリング&テクノロジーサービス
-
辻 智
日本アイ・ビー・エム(株)
-
森 由美
日本アイ・ビー・エム
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