2B-4 カラー液晶ディスプレイ用TFTの故障解析技術(第3回信頼性研究発表会REAJ)
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概要
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カラー液晶ディスプレイに使用される薄膜トランジスタ(TFT : Thin Film Transistor)基板の故障解析の流れは、シリコン系半導体集積回路において実施されてきたものと類似性がある。しかしながら、構成材料の物性や素子構造の違いから、半導体集積回路用に開発された手法を、そのままTFTの解析・評価に適用するのは困難である。特に観察技術においては、試料加工や観察条件にTFT固有の技術が要求される。本報では、故障解析の各段階において、集積回路用の故障解析手法をTFTに応用した結果を紹介する。
- 日本信頼性学会の論文
- 1995-05-10
著者
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筒井 長徳
株式会社アイテス 信頼性・材料技術部
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辻 智
日本アイ・ビー・エム株式会社APTO品質
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三浦 伸仁
株式会社アイテス
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徳弘 修
株式会社アイテス 信頼性・材料技術部
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辻 智
日本アイ・ビー・エム(株) ディスプレー・テクノロジー
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辻 智
日本アイ・ビー・エム(株)
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- 特集企画にあたって
- 2B-4 カラー液晶ディスプレイ用TFTの故障解析技術(第3回信頼性研究発表会REAJ)
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