522 アコースティック・エミッション/電位振動ハイブリット解析を用いるTiN薄膜の破壊機構(薄膜・界面, 破壊の発生・進展とその解析・評価・計測)

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文
• 2005-05-20

著者

• 小川 武史

  青学大

• 米津 明生

  青山学院大学 理工学部 機械創造工学科

• 米津 明生

  青学大[院]

• 竹本 幹男

  青学大

• 長 秀雄

  青学大

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