Deposition of Carbonaceous Films Using ECR Plasma Apparatus Deposition of Colorless, Transparent and Semiconducting Film from Methane Plasma
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概要
著者
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松本 修
青山学院大学理工学部化学科
-
FUJITA Takeshi
Department of Dental and Biomedical Materials Science, Unit of Basic Medical Sciences, Graduate Scho
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Fujita Takeshi
Department Of Chemistry Graduate School Of Pure And Applied Sciences University Of Tsukuba
-
Fujita Takeshi
Department Of Chemistry Aoyama Gakuin University
-
Fujita Takeshi
Department Of Applied Physics Osaka City University
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