EFFECT OF DILUTION GASES IN METHANE ON THE DEPOSITION OF DIAMOND-LIKE CARBON IN A MICROWAVE DISCHARGE III : EFFECT OF RARE GASES
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概要
著者
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松本 修
青山学院大学理工学部化学科
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HAYASHI FUMITAKA
Department of Chemistry, Aoyama Gakuin University
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UYAMA HARUO
Department of Chemistry, Aoyama Gakuin University
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Uyama Haruo
Department Of Chemistry Aoyama Gakuin University
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Hayashi Fumitaka
Department Of Chemistry Aoyama Gakuin University
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