自作電子衝撃加熱法を用いたチタン薄膜の形成
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概要
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A handmade electron bombardment system has been constructed to evaporate titanium (Ti) metal of high melting temperature. The system is simply constructed from a spiral tungsten wire, a target of Ti rod and handmade power supply. Details of the electric power to melt the Ti rod target, the deposition rate on a substrate and the angular distribution of the evaporation direction have been examined. Especially the shape of the head of the melted Ti rod is found to be very important to evaporate Ti atoms on a substrate effectively and uniformly. The deposition rate of Ti atoms was estimated as 2.2Å/s at 20mm apart position.
- 大同工業大学の論文
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