微傾斜Si(001)表面からのEF-RHEED図形
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概要
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Extra spots near the Bragg reflection spots have been clearly observed for a vicinal Si(001)2x1 surface by energy-filtered reflection high-energy electron diffraction (ER-RHEED) at [1-10] incidence with 10 kV electron beam. The extra spots are distributed along a normal line across the Bragg reflection spots, 0 0, 1/2 0 and 1 0. From the glancing angle dependence of the extra spots, the mean terrace length along the [1-10] direction was reasonably estimated by kinematical calculations based on a regularly arranged step surface with single step height. It is shown that this method can evaluate very small vicinal angle near 0.1°, which is superior to low energy electron diffraction (LEED) method.
- 大同工業大学の論文
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