共焦点型蛍光X線分析装置の開発と米試料の三次元元素マッピング(<特集>原子をみる)

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概要

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ポリキャピラリーX線レンズを用いた共焦点型蛍光X線分析装置の開発を行い,米試料中の非破壊三次元分析を行った.10μm厚のAu薄膜により評価した,共焦点型蛍光X線分析装置の深さ方向の分解能は約90μmであった.ポリキャピラリーハーフレンズを取り付けることで,バックグラウンドの軽減が確認された.開発した装置を用いることにより,米試料中の主元素の三次元元素マッピング像が,非破壊的に常圧下で得られた.米試料中の主元素であるK,Ca,Feの二次元マッピング像を試料表面から200,400,500μmの深さで取得したところ,異なる分析探さにおいてそれぞれ異なった元素分布を示した.
社団法人日本分析化学会の論文
2006-06-05

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