Characteristics of an Chemically Amplified Silicone-Based Negative Resist (CSNR) in Electron Beam Lithography
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The characteristics of CSNR, which is composed of an alkali-soluble silicone polymer (ASSP) and an acid generator, have been studied. ASSP is obtained by a sol-gel reaction of a mixture of phenyltrimethoxysilane and 2-(3, 4-epoxycyclohexyl)ethyl trimethoxysilane and has a lot of silanol groups that make ASSP alkali-soluble. The resist chemistry of CSNR is based on the acid-catalyzed condensation of the silanol groups during post exposure baking. The resist characteristics of CSNR also depends on the acid generator. Using triphenylsulfonium triflate as a acid generator, a 0.2-μm lines-and-spaces pattern can be fabricated upon electron beam exposure at a dosage of 1.2μC/cm^2.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1992-07-15
著者
-
河合 良信
九大総理工
-
Kawai Yoshinobu
Welding Research Institute Osaka University
-
KAWAI Yoshio
NTT LSI Laboratories
-
Ban H
Ntt Advanced Technol. Corp. Atsugi‐shi Jpn
-
NAKAMURA Jiro
NTT Telecommunications Energy Laboratories
-
Nakamura Junko
Central Research Laboratory Hitachi Ltd.
-
Tanaka A
Department Of Applied Science For Electronics And Materials Graduate School Of Engineering Science
-
河合 良信
Kyushu Univ. Fukuoka
-
Nakamura J
Hokkaido Univ. Sapporo Jpn
-
TANAKA Akinobu
NTT LSI Laboratories
-
Nakamura Jiro
NTT LSI Laboratories
-
Ban Hiroshi
NTT LSI Laboratories
-
Nakamura Junichi
Department Of Electronics Faculty Of Engineering Himeji Institute Of Technology
関連論文
- 25pRE-4 直線プラズマにおけるメゾスケール構造の観測(プラズマ基礎(乱流・基礎プラズマ),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 22aRS-3 直線プラズマにおけるドリフト波乱流 : 時空間構造の観測(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 22aRS-5 直線プラズマにおけるドリフト波乱流 : 実験と理論の比較(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 30a-TH-10 リチウムビームプローブによるヘリオトロンEの周辺プラズマ計測
- 25aQB-8 ECRプラズマにおける波動の構造と非線形相互作用の測定(II)(25aQB プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-6 ECRプラズマにおける波動の構造と非線形相互作用の測定(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 21pWG-9 直線ECRプラズマ中のマイクロ波変調による波動励起実験(プラズマ基礎(乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 25pRE-6 直線ECRプラズマにおけるドリフト不安定性とフルート不安定性の競合的振る舞い・II(プラズマ基礎(乱流・基礎プラズマ),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 22aRS-2 直線ECRプラズマにおけるドリフト不安定性とフルート不安定性の競合的振る舞い(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 19aQC-5 直線ECRプラズマにおける衝突ドリフト波不安定性とフルート波不安定性の共存現象(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 27aC26P 負イオンプラズマ中のイオン音波slowモードの支配的伝播(プラズマ基礎・応用)
- 27pA03P 3成分イオンプラズマ中のイオン音波伝播特性(プラズマ基礎・応用)
- 27pSP-9 直線円筒形ECRプラズマにおけるゾーナルフロー型振動の観測(27pSP プラズマ基礎(波動・加熱・不安定性・輸送・閉じ込め特性・非線形現象・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 25pRE-3 直線プラズマにおける二時刻二点相関法による乱流の二次元構造(プラズマ基礎(乱流・基礎プラズマ),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 19aQC-1 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験V : 新装置実験の概要(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 19aQC-2 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験VI : 可動式マルチ電極プローブ測定(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 19aQC-3 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験VII : 一体型マルチ電極プローブ測定(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 19aQC-4 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験VIII : 揺動の非線形解析(プラズマ基礎(非線形現象(自己組織化,カオス,乱流等)),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 25aQB-7 直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験III(25aQB プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 25aQB-9 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験IV : 新装置実験(25aQB プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-3 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験II : プラズマ流と中性粒子(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-4 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験III : 静電搖動(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-5 直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験II(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aUC-2 高密度直線プラズマ中のドリフト波乱流実験I : 実験装置とプラズマ生成(28aUC プラズマ基礎(非線形現象・乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 21pWG-10 直線ECRプラズマ中のドリフト波励起実験(プラズマ基礎(乱流),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 27pA38P 915MHz ECRプラズマにおける電子温度制御(プラズマ基礎・応用)
- 反応性ガスプラズマのパラメータ測定
- Reconstruction of Edge-Plasma Density Profiles by Neutral Beam Probe Spectroscopy
- 14pQA-6 微粒子プラズマ中における二次元 Coulomb クラスタの融解転移(プラズマ基礎 : 強結合, 非中性, 波動, 加熱, 領域 2)
- 26aB09P SiH_4 ECRプラズマにおける電子温度制御(プラズマ基礎・応用)
- 26aB08P ECRプラズマの大口径化と低電子温度化(プラズマ基礎・応用)
- 21pYA-2 電離波動におけるカオス現象に関しての実験研究
- 31aZL-11 負イオンプラズマ中の振動型衝撃波に関する実験
- 29pA14P 915MHz ECRプラズマにおける電子温度のパワー吸収分布依存性(プラズマ基礎・応用)
- 29pA06P Ar/N_2ECRプラズマ中のイオン温度特性解析(プラズマ基礎・応用)
- 29pA05P N_2/ArプラズマおよびO_2/Arプラズマ中でのイオン温度測定(プラズマ基礎・応用)
- 27aC25P 境界があるイオン-イオン不安定性におけるイオンの振る舞い(プラズマ基礎・応用)
- 27aC24P 磁化プラズマにおける回転するスパイラル構造(プラズマ基礎・応用)
- 27pA36P 大口径ECRプラズマ中の揺動の振る舞い(プラズマ基礎・応用)
- 27pA35P 酸素ECRプラズマ中の負イオン密度分布(プラズマ基礎・応用)
- 27pA29P イオン-イオン不安定系のカオスへの発展(プラズマ基礎・応用)
- 27p-C-4 イオンシース不安定性におけるシース構造(II)
- 7a-YN-7 イオンシース不安定性におけるシース構造
- 27pXG-6 イオン-イオン不安定性におけるカオスの励起と境界条件
- 25pYG-12 イオン-イオン不安定性のカオス的振る舞いに関する実験的研究
- 28p-C-2 ECRプラズマ中のイオンおよび中性原子温度の測定
- 5a-F6-10 リジターノコイルによる大直径プラズマの生成III
- 27p-L-7 リジターノコイルから放出されるECRプラズマ中の不純物II
- 1a-J-13 径方向電界による不安定波の励起
- 1a-J-12 両極性電位のによるフルート不安定性の制御
- 28p-Y1-11 リジターノコイルによる大直径プラズマの生成
- 27pA03P イオン音波を用いた反応性ガスECRプラズマ中の負イオン密度測定(プラズマ基礎・応用)
- 24aD-7 Ar/SF_6プラズマ中のイオン音波伝播
- 25aYG-11 イオンバーストを用いた多種イオンプラズマ測定
- ArF Excimer Laser Projection Lithography Using Partially Achromatized Lens System : Lithography Technology
- ArF Excimer Laser Projection Lithography Using Partially Achromatized Lens System
- 29p-ZE-13 電子ビーム・プラズマ系での不安定モード(プラズマ物理・核融合)
- 27p-G-6 外場によるイオン-イオン不安定性の抑制とイオンのエネルギー分布関数の変化
- 2p-R-5 イオン-イオン不安定性の外場による抑制とイオンのエネルギー分布関数
- 4p-H-9 ポンプ波を印加したときのイオン-イオン不安定性 II
- 28pXG-14 負イオンプラズマ中におけるイオン波の反射実験
- 27pA04P 2種類の負イオンを含む多成分系プラズマ中のイオン音波(プラズマ基礎・応用)
- 21pWG-5 ECRプラズマにおける揺動のカオス制御(プラズマ基礎(強結合/カオス),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 26p-C-10 可視光トモグラフィーによる密度揺動計測
- 27p-L-8 径方向電界による不安定波の励起III
- 28a-Q-12 マイクロ波凹レンズを用いた大口径高密度プラズマの生成
- 29a-YB-11 マルチプレートランチャーによる大口径・高密度プラズマの生成
- 12a-M-7 ヘリコン波によって生成されたプラズマ中の電子ビームIII
- 26p-C-12 ヘリコン波によって生成されたプラズマ中の電子ビーム II
- 27a-Z-6 ヘリコン波によって生成されたプラズマ中の電子ビーム
- Effect of Electromagnetic Waves Propagating in the Periphery of Electron Cyclotron Resonance Plasma on the Uniformity
- Characteristics of Very High Frequency Plasma Produced Using a Ladder-Shaped Electrode
- 1p-Z-5 電流駆動型イオン音波不安定性中の電位分布
- 19a-G-8 Synthesized Plasmaの生成
- 27p-C-1 負イオンプラズマ中の擬似波 II
- 7a-YN-10 負イオンプラズマ中の擬似波
- 7a-YN-9 バイポーラ型反射電極を用いたイオン音波ソリトン及びバーストの反射
- 29a-YG-10 イオン波の分散特性に対する負イオンの効果
- 負イオンプラズマ中のイオン波の励起特性
- 27a-Q-12 負イオンプラズマ中のイオン波の分散関係
- 26p-Y1-11 ポンプ波がある場合のイオンビーム・プラズマ不安定性
- 25a-D-3 ヘリコン波と完全電離プラズマ
- Suppression of Ion-Ion Instabilities by an External Field
- 25a-D-4 波動モードとプラズマ生成
- 3p-R-2 電子サイクロトロン波を用いた高密度プラズマの生成 : 斜め入射
- Overdense Plasma Production Using Electron Cyclotron Waves
- 5a-F6-11 ホイスラーモードによる高密度プラズマの生成III
- 4p-F6-11 境界のあるプラズマにおける電子サイクロトロン波の分散
- 27a-Y1-13 境界のあるプラズマにおけるホイスラーモードの伝播
- 3p-W-3 電子サイクロトロン波プラズマにおける密度転移の伝播
- 30p-YB-14 電子サイクロトロン波プラズマ中の電子のカオス的加速
- 30p-YB-11 電子サイクロトロン波プラズマにおける密度転移現象III
- 12p-M-1 電子サイクロトロン波プラズマにおける密度転移現象II
- 30a-ZE-11 対向入射マイクロ波による高密度ECWプラズマの生成(プラズマ物理・核融合(プラズマ基礎))
- 30a-ZE-10 電子サイクロトロン波プラズマにおける密度転移現象(プラズマ物理・核融合(プラズマ基礎))
- 26p-C-11 L波から電子サイクロトロン波へのモード変換
- 26p-C-8 電子サイクロトロン波プラズマのカオス過程とX線放射
- 27a-Z-5 電子サイクロトロン波プラズマからのX線放射II
- 27a-Z-3 波動モードとプラズマ生成II
- 27p-G-7 電子サイクロトロン波プラズマからのX線放射