3.計測とモデリング : 3.3負イオンプラズマのモデリング : 負イオンを見直そう(<特集>負イオン特集)
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概要
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Radiofrequency plasmas in electronegative gases have a negative ion production by an electron attachment reaction. In particular, negative ions are trapped electrically and accumulated between positive ion sheaths in front of electrodes in a high frequency plasma, where ions are spatially trapped during a half period. Negative ion plasmas, consisting of electrons, positive and negative ions in the bulk plasma, are investigated by Relaxation Continuum Model, and are discussed in terms of the plasma structure and function, and the controllability of the density and energy of negative ions.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1996-11-25
著者
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