3.高周波(HF)励起マイクロセルプラズマ(<小特集>マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
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概要
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This paper describes the basic concept of a micro-cell plasma in a gas mixture, sustained by a High Frequency (HF) voltage source. The key to maintaining a micro-cell plasma is to reduce a wall loss and increase plasma production. The advantage of HF micro-cell plasma is the spatial trapping of ions and partly electrons by the external HF voltage source. As a result, the efficiency of UV radiation caused by the high rate of excitation is improved as compared with that of low frequency operation.
- 2000-05-25
著者
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