真壁 利明 | 慶應義塾大学理工学部
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概要
関連著者
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真壁 利明
慶應義塾大学理工学部
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真壁 利明
慶應義塾大学 理工学部
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南部 健一
東北大学流体科学研究所
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南部 健一
東北大・流体研
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真壁 利明
慶應大理工
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中野 誠彦
慶應義塾大学理工学部
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中野 誠彦
慶應義塾大学
著作論文
- 2.緩和連続モデルによる酸化膜エッチング用プラズマのシミュレーション(プラズマエッチングのシミュレーション)
- 1.序論(プラズマエッチングのシミュレーション)
- 4031 流体モデルとハイブリッドモデルによるプラズマ解析 : ウエハーインタフェースを中心に(F-4 フォーラム「産業用プラズマのモデリング」)
- プラズマエッチングのコンピュータシミュレーション : 計算(非平衡)プラズマ物理からのアプローチ
- 3.計測とモデリング : 3.3負イオンプラズマのモデリング : 負イオンを見直そう(負イオン特集)