2. 表面波とプラズマ生成 : 概論 : 2.2 表面波励起プラズマの最近の研究(<小特集>表面波励起プラズマの生成とその応用)
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概要
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The surface wave excited plasma which has been systematically developed by Moisan et al. since late seventies is recognized as a promising plasma source for the plasma process. The present paper reviews the recent studies on the enlargement of the surface wave excited plasma and the works on the modeling of the surface wave excited plasma, which give the more precise formula and explain the mechanism of energy transfer from the surface wave to the plasma.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1996-07-25
著者
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- 次世代光源調査専門委員会