表面波により生成されたプラズマ源のモデリング
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概要
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電磁モード表面波の定在波により維持されたヘリウムガス(1.0 Torr)放電を、自己無撞着なシミレーションを用いて調べた。ここで、マイクロ波電力は、プラズマ表面に沿って伝搬する平面電磁波とプラズマとの結合により供給されるものとした。この結果、プラズマの軸方向密度分布、マルチモードの励振の可能性、電磁界各成分の空間分布等が明らかにされた。さらに、本研究では、プラズマ共鳴のある場合の電磁界分布にも触れる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-01
著者
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