高気圧キセノンガス中の表面波放電
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概要
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高気圧マイクロ波放電においては、拡散状またはフィラメント状の放電が観測される。両放電モード間の遷移は、マイクロ波電力、ガスの性質あるいは圧力に依存することが知られている。本研究では、表面波で励起された高気圧キセノンプラズマのフィラメント状放電の発生機構を解明するために、フィラメントの分枝過程あるいは2つの放電形態間の遷移を、高速度カメラを用いて調べた。ガス圧20Torrの場合には拡散状放電であったが、100Torrで低マイクロ波電力の場合、フィラメント状放電が観測された。100Torrにおけるフィラメント放電の先端部伝搬速度は、2400〜2800(m/sec)であった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-01
著者
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