26aB12 ECRプロセスプラズマ中分割型容器壁のその場クリーニング(ヘリカル/プラズマ応用)

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概要

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• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 1999-11-20

著者

• 飯塚 哲

  東北大院工

• 佐藤 徳芳

  東北大学

• 佐藤 徳芳

  東北大学工学部電磁工学講座

• 佐藤 徳芳

  東北大院工

• 堀内 幸一郎

  東北大院工学研

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