堀内 幸一郎 | 東北大院工学研

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概要

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• 東北大院工学研の論文著者

関連著者

• 佐藤 徳芳

  東北大学

• 佐藤 徳芳

  東北大学工学部電磁工学講座

• 堀内 幸一郎

  東北大院工学研

• 飯塚 哲

  東北大院工

• 佐藤 徳芳

  東北大院工

• 中川 行人

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 中川 行人

  アネルバ

• 佐藤 弘康

  東北大院工学研

• 飯塚 哲

  東北大学大学院工学研究科

• 米山 務

  東北工大通信工

• 奥本 友和

  東北大院工学研

• 李 雲龍

  国際電気

• Iizuka S

  Dept. Of Electronic Eng. Tohoku University

• 奥木 友和

  東北大院工

• 堀内 幸一郎

  東北大学

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著作論文

• 27pA01P 平面ECRプラズマ生成用高効率マイクロ波伝送路(プラズマ基礎・応用)
• 26pB17p 平面スロットアンテナ磁場配位によるECRプラズマの制御(ヘリカル/プラズマ応用)
• 26aB12 ECRプロセスプラズマ中分割型容器壁のその場クリーニング(ヘリカル/プラズマ応用)
• ECRプラズマプロセス装置における容器壁のその場クリーニング

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