3)AlSiNおよびAlSiON膜の構造と特性(画像情報記録研究会)
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概要
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- 1989-06-20
著者
-
川村 和民
沖電気工業
-
前野 仁典
沖電気工業株式会社
-
小林 政信
沖電気工業研究開発本部
-
大石 佳代子
沖電気工業株式会社研究開発本部基盤技術研究所
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小林 政信
沖電気工業(株)研究開発本部基盤技術研究所材料研究部室
-
小林 政信
沖電気工業株式会社研究開発本部基盤技術研究所
-
川村 和民
沖電気工業株式会社研究開発本部基盤技術研究所
-
小林 政信
沖電気工業 (株) 基盤技術研究所
-
前野 仁典
沖電気工業 (株) 基盤技術研究所
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