Co/Pd多重構造多層膜の磁気特性と膜構造解析
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概要
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Co, Pd,Co/Pt,Co/Au多層膜といった、Co/貴金属多層膜は大きな垂直磁気異方性を持ち、盛んに研究されている。これらの多層膜は、短波長領域で大きな磁気光学効果を有することから、次世代高密度光磁気記録媒体として有望視されている。我々は、磁気特性の向上を目的として、Co/Pd多層膜とPd薄膜とを周期的に積層したCo/Pd多重構造多層膜を作製し、磁気特性及び膜構造について検討を行った。その結果、多重構造多層膜の磁化曲線は、Co/Pd多層膜の保磁力が各層で異なることから、多段になることが分った。また、X線回折により膜構造解析を行い、回折パターンに関して理論計算の結果と測定結果との対応が見られた。
- 1993-06-25
著者
-
前野 仁典
沖電気工業株式会社
-
山根 治起
沖電気工業株式会社研究開発本部
-
小林 政信
沖電気工業研究開発本部
-
小林 政信
沖電気工業(株)研究開発本部基盤技術研究所材料研究部室
-
小林 政信
沖電気工業株式会社研究開発本部基盤技術研究所
-
小林 政信
沖電気工業 (株) 基盤技術研究所
-
前野 仁典
沖電気工業 (株) 基盤技術研究所
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