合金ターゲットによるTbFeCoスパッタ膜の形成
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概要
著者
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川村 和民
沖電気工業
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前野 仁典
沖電気工業株式会社
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小林 政信
沖電気工業研究開発本部
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大石 佳代子
沖電気工業株式会社研究開発本部基盤技術研究所
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小林 政信
沖電気工業(株)研究開発本部基盤技術研究所材料研究部室
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小林 政信
沖電気工業株式会社研究開発本部基盤技術研究所
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川村 和民
沖電気工業株式会社研究開発本部基盤技術研究所
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小林 政信
沖電気工業 (株) 基盤技術研究所
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前野 仁典
沖電気工業 (株) 基盤技術研究所
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