光磁気ディスク用高屈折率保護膜BaTiON(<論文特集>光ディスク記録)

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概要

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チタン系スパッタ膜の屈折率について検討した.TiON膜やTiO膜は比較的に大きな屈折率を示すが, 吸収係数が大きかった.しかし, BaTiONスパッタ膜は非常に大きな屈折率を示し, 可視領域において透明な膜であった.BaTiON膜の屈折率は2.75でる.この膜の結合状態をXPSやRHEEDの分析結果をもとに検討した結果, 膜はアモルファスであり, BaOとTi_xO_yの混合状態の中に極少量のTiN_xが存在していることがわかった.膜の組成比はBa : Ti : O : N=1 : 1 : 2.6 : 0.1であった.BaTiON膜を使用し, 光磁気ディスクを作製したところ, ディスクは高感度で, 広いパワーマージンを示した.ディスクのC/Nは, 線速11.4m/s, 記録周波数7.4MHz, 記録パワー5.5mW, 再生パワー0.8mW条件で, 49dBであった.
1990-10-20

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