高密度記録用Co-Pt-M薄膜媒体
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概要
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RF2極スパッタ法により, 優れた磁気特性と耐食性を有するCo-Pt合金薄膜媒体に第3元素Mとして, VIa族のCr, Mo, WおよびVa族のV, Nb, TaおよびIVa族のTi, ZrおよびGeを添加し, 保磁力H_cおよび飽和磁束密度B_sを広範囲に制御できることを示した.高密度記録用として期待でき, 500Oe以上のH_cを有している添加元素はCr, Mo, W, V, Geであることがわかった.耐食性については, Co_<0.72>Pt_<0.2>Cr_<0.08>が優れていた.添加元素としてVを選び, その磁気特性の組成依存性と微細構造, 結晶構造を関連づけた.さらに, Co_<0.66>Pt_<0.30>V_<0.04>を媒体として磁気ディスクを作製し, 記録密度特性を測定したところ, D_<50>として50KFRPI以上が得られ, 高密度記録用媒体としての可能性が明らかにされた.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1986-06-20
著者
-
加藤 裕司
日本電気(株)光エレクトロニクス研究所
-
加藤 裕司
日本電気(株)カラー液晶推進開発本部
-
柳沢 雅広
日本電気株式会社機能エレクトロニクス研究所
-
塩田 則男
日電
-
加藤 裕司
日本電気株式会社光エレクトロニクス研究所
-
山口 弘高
日本電気株式会社マイクロエレクトロニクス研究所
-
塩田 則男
日本電気株式会社マイクロエレクトロニクス研究所
-
塩田 則男
日本電気 機能エレクトロニクス研
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