電子打込型CCD内蔵管 : EB-CCD

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概要

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• 低照度領域の撮像を目的として、ICCD(Intensified CCD)に代わる高感度・高画質な新しい撮像素子、電子打ち込み型CCD内蔵管(EB-CCD)を開発した。開発したEB-CCDでは、マルチアルカリ光電面から放出した電子を加速して、近接して配置した、電子に感度を有する裏面照射型CCDに入射して、ゲインを得ている。評価の結果、光電面最大印加電圧-8(kV)にて、電子増倍ゲインは600倍であり、また、解像度は画素サイズで決まる限界値に近い18(lp/mm)であることがわかった。また、CCDのノイズは-25℃に冷却すると13(e RMS)であった。CCDのノイズがゲインより圧倒的に小さいことから予想された通り、開発したEB-CCDでシングルフォトンの撮像を確認した。

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 1997-10-23

著者

• 木下 勝之

  浜松ホトニクス

• 須山 本比呂

  浜松ホトニクス(株)

• 江間 省豪

  浜松ホトニクス

• 影山 明広

  浜松ホトニクス

• 江間 省豪

  浜松ホトニクス(株)システム事業部:浜松ホトニクス(株)電子管事業部

• 須山本 比呂

  浜松ホトニクス(株)

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