超高感度電子打ち込みCCDセンサー・カメラの改善

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概要

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電子打ち込み型CCD(Electron Bombardment-CCD)は、微弱光イメージング用として開発されたが、近年はSITカメラやI-CCDカメラに置き換わる高感度カメラとして使用されるようになってきている。しかし、さまざまな用途において、さらなる高感度、高ダイナミックレンジの必要性を指摘されている。それらの要望に添うために、EB-CCDセンサーの高感度化、高ダイナミックレンジ化への改善を続けてきている。この論文では、30-50%の量子効率を実現したGaAsとGaAsPを光電面にもつ高感度EB-CCDセンサについて報告する。また、マルチアルカリ光電面のイメージインテンシファイア(II)とGaAs光電面のEB-CCDセンサーの感度比較を通じて、いかにGaAs光電面のEB-CCDセンサーが高感度であるかを報告する。
社団法人映像情報メディア学会の論文
2000-03-24

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