X線電子顕微鏡(X線ズーミング管)
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概要
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X線電子顕微鏡は、X線ズーミング管を用いた高分解能ニ次元X線画像検出器である。本装置は、光電面、電子レンズ系、電子増倍部、蛍光面からなるX線ズーミング管と駆動用電源および蛍光面画像読み出し用CCDカメラで構成される。本装置を用いることにより、光電面上の任意の位置のX線画像を10倍から200倍の範囲で蛍光面上にズーム動作が可能となり、0.5μm以内の空間分解能で二次元X線像の観察が可能となる。X線ズーミング管の管体は、最大拡大率・200倍の標準タイプと、最大拡大率を55倍に下げ最大視野をφ20mmまで広げた広視野タイプの二種類から選択できる。また入射窓は、1keV以下の軟X線に対応した有機薄膜を用いたICF真空フランジ接続タイプと、4keV以上のX線に対応したBe窓タイプとが選択できる。今回は、本装置の動作原理および各種応用データについて述べる。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2001-02-23
著者
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