結合薄膜多層電極の最適膜厚設計
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概要
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結合薄膜多層電極はマイクロ波、ミリ波帯における低損失な電極として提案された。これまでに各層が均一な膜厚の設計例を示し、積層数にほぼ比例する実効導電率の上昇効果を理論的および実験的に示した。ここでは膜厚を各層ごとに最適化し、実効導電率を最大にするための最適膜厚設計を解析的に示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
石川 容平
(株)村田製作所
-
石川 容平
(株) 村田製作所
-
伊勢 智之
株式会社村田製作所
-
日高 青路
株式会社 村田製作所
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日高 青路
村田製作所
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日高 青路
(株) 村田製作所
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伊勢 智之
(株) 村田製作所
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