結合薄膜多層電極のマイクロ波帯における低損失動作
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概要
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マイクロ波、ミリ波帯デバイスでは高誘電率材料による小型化技術の中で金属導体による電力損失が問題となる。これは表皮効果が電流集中を招き導体損を大きくするためである。ここでは低損失なマイクロ波電極として導体薄膜と誘電体薄膜を電磁気的に結合するように積層した結合薄膜多層電極を提案する。解析モデルとして、図2のような誘電体基板の両面に結合薄膜多層電極を構成した線路を用い、等価回路を示した上で、回路シュミレーションによる損失低減動作を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
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