結合薄膜多層電極の設計と評価
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概要
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結合薄膜多層電極はマイクロ波、ミリ波帯における低損失な電極として提案した。これまでに構造・媒質定数と1対1に対応する等価回路を抽出し、回路シュミレーションにより積層数にほぼ比例する実効導電率の上昇効果を示した。ここでは、電極の設計方法および試作品の測定結果について紹介する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
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