オンウェハチューニング・ロードプルによる高出力増幅器の設計技術

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概要

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準ミリ波・ミリ波帯でチユーナに損失がある場合、可変インピーダンス範囲が制限されてしまうので、ロードプル測定を良好に行うことが困難になる。この問題を解決するため、簡便で低損失な測定法として、オンウェハチューニング・ロードプル法の検討を行った。ウェハ上でのチューニング法としては、コプレーナ線路をFETの入力側に直接接続し、そのコプレーナ線路上の任意の点にプローブヘッドを接触させることにより、インピーダンスを変化させる方法が報告されている。今回我々は、更に長さが可変な短絡スタブを導入することにより広範囲のチューニングを可能にし、これを用いてロードプル測定を行った。その結果、オンウェハチューニング法はロードプル測定にも十分適用可能であることを確認できた。また、その測定結果に基づいてMMIC高出力増幅器の設計・試作を行い、良好な特性を得たので報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1997-08-13

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