平面導波路の高集積化・高周波化における課題
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概要
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精密なフォトリソグラフィ技術や半導体成長技術の進歩に伴い、マイクロ回路は集積化(MIC)からモノリシック化(MMIC)へ、また、マイクロ波帯からミリ波帯へと進歩を遂げつつある。マイクロ波およびミリ波回路には、マイクロストリップ線路を基本伝送線路とする各種変形平面導波路が利用されている。特に、MMICのように回路が小形になり、誘電体基板が薄くなるとそこに利用されるストリップ線路の断面寸法は極めて小さい。このような小形ストリップ線路を高周波帯で利用する場合に生じる問題点について検討する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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