周波数変調半導体レーザを用いた微小変位測定のためのヘテロダイン干渉計測
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概要
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半導体レーザは光通信、光計測、光ディスクの読み取り、記録などの光エレクトロニクスの様々な用途の光源に用いられ、信頼性が向上している。この半導体レーザは注入電流を変えることにより出力光の強度変調と共に直接周波数変調をすることができ、その波長チューニング特性を利用した光計測法が種々提案されている。本研究では、ヘテロダイン干渉計の光源に半導体レーザを用い、鋸歯状波変調をかけたときレーザの強度変調が引き起こす誤差について理論的な解析と実験を試みた。
- 1996-09-18
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