454℃まで動作する高温動作IC(IIL)
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概要
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高温で動作するIC(IIL)を開発するためにpn接合トランジスタの高温における特性を検討した。これをもとにIILの構造を設計し、低温エピタキシャル成長とイオン打ち込み装置を交互に繰り返す方法で試作した、10μmルールでのもので415℃まで、5μmルールのもので454℃まで動作し、これを用いた2ビットマイコン用フルアダーでは250℃にて4000時間以上の寿命を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-08-20
著者
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右高 正俊
豊田工業大学
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竹内 正佳
アイシン精機(株)
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倉地 耕平
豊田工業大学
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内藤 博年
豊田工業大学
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原田 実
豊田工業大学
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川上 宏樹
横河電機(株)
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倉地 耕平
アイシン精機
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内藤 博年
アイシン精機
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