水素とアンモニアを用いたハイブリッド励起によるシリコン直接窒化
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1992-09-25
著者
関連論文
- イオンドラグ力を応用したマイクロソーラボートの開発
- Erドープファイバにおける負性非線形吸収効果による全光形の光スイッチ
- Erドープファイバにおける負性非線形吸収効果による光信号の負性増幅
- 負性非線形吸収効果の数値解析と変調度依存性
- Er^:YAG結晶における負性非線形吸収効果の変調周波数および温度依存性
- 負性非線形吸収効果のメカニズム
- 負性非線形吸収効果による光信号反転現象
- 負性非線形吸収効果における増速吸収現象
- 負性非線形吸収効果を用いた光スイッチング
- 454℃まで動作する高温動作IC(IIL)
- 高温用差動入力段試作ICの特性評価
- Siマイクロマシニング技術を用いた微小電界放射陰極の試作
- プラズマと光を併用する薄膜成長技術 (最新のプラズマ技術と材料プロセス)
- 370℃まで動作するシリコンIILの試作
- ひずみ電圧補償形Siホ-ルICの試作
- LSI製造プロセスにおける熱処理とその動向
- 454℃まで動作するシリコンIILとその応用回路開発
- 鉄拡散を用いたGaAs pnp構造の電荷蓄積特性
- 水素とアンモニアを用いたハイブリッド励起によるシリコン直接窒化