Siマイクロマシニング技術を用いた微小電界放射陰極の試作
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概要
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バキュームIC用の微小電界放射陰極アレイを,本学の半導体センターのLSIプロセスを転用したマイクロマシニング技術を用いて検討した.すなわち微小電界放射陰極とそれを用いた微小電界放射陰極アレイの試作し,冷陰極として動作を確認した.さらにこの微小電界放射陰極アレイを蛍光面を持つ真空管に封入し,蛍光表示管としての基本特性が得られることを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-17
著者
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