オフアクシスY_1Ba_2Cu_3O_<7-δ>スパッタ成膜における水蒸気添加効果
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概要
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Y_1Ba_2Cu_3O_<7-δ>スパッタ成膜に及ぼす水蒸気の効果について調べた.成膜時にスパッタガス中の水蒸気を添加した結果,酸素濃度の低下した劣化ターゲットからも,再び高い臨界温度T_Cを有する膜を得た.最適条件下では,水蒸気の添加により,ゼロ抵抗温度は70Kから84.5Kへと向上した.c軸長の変化についても調べた結果,c軸長は水蒸気の添加によって減少することが明らかとなった.c軸長とT_Cの関係はバルクにおける関係と極めて良い一致を示した.この結果より,水蒸気の添加により膜の酸化が促進されていると共に,化学量論組成の膜が得られていると考えることができた.また,水蒸気の添加により,合成温度も,40〜50℃低下することが明らかとなった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-06-25
著者
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