Y_1Ba_2Cu_3O_<7-δ>-SrTiO_3-Y_1Ba_2Cu_3O_<7-δ>積層膜の作製と評価

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概要

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結晶性の良く制御されたY_1Ba_2Cu_3O_<7-δ>-SrTiO_3-Y_1Ba_2Cu_3O_<7-δ>積層膜を再現性良く得ることを目的に、Nd:YAG固体レーザ使用の可能性と、皮膜のモニタ法について調べた結果について報告する。Nd:YAGパルスレーザの4倍高調波を用い、アプレーション成膜を行った結果、結晶性の制御された多層膜を再現性良く得た。Y_1Ba_2Cu_3O_<7-δ>薄膜成膜中の膜表面の放射温度は、膜の成長過程(格子欠陥)との強い相関を有しており、成膜中の膜表面の放射温度は、欠陥を含まない良質な膜を得るためのモニタ法として利用できる事を示す。また、SrTiO_3絶縁層は酸素の表面拡散を抑制する事を示す。さらに、Y_1Ba_2Cu_3O_<7-δ>膜の酸素ドープ量は500℃付近の熱処理により、熱平衡状態の相図に従って、可逆的に制御出来ることを示した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-12-13

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