Al蒸着膜の付着力に及ぼす蒸着中の残留ガスの影響
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概要
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Al蒸着膜の付着力に及ぼす蒸着中の残留ガスの影響について検討するため,蒸着条件のうち唯一蒸着開始時間のみを前後にずらして,膜厚が同じになるよう別々の2枚のガラス基板に蒸着を施し,その付着力ならび残留ガス分析結果を比較検討した.
- 1996-06-25
著者
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