ハイブリッド集積ピエゾ素子駆動ミラーによるレーザビーム走査制御ユニットの基礎検討
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概要
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The hybrid-integration of electro-mechanical components and opto-electronic devices have been designed and put through initial trial tests. The beam scanning unit, which guides the laser beam by tilting a micro-mirror prism with a piezoelectric actuator, has been fabricated and its basic performance has been confirmed. By applying 300Vp-p sinusoidal signal to the piezoelectric device, the laser beam scanning function has been stable up to 1kHz. The result suggests that it is possible to use the laser beam scanning function to control the optical spot's high-speed fine tracking.
- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2002-03-01
著者
-
斉藤 保典
信州大学工
-
野村 彰夫
信州大学
-
野村 彰夫
信州大学工学部情報工学科
-
斉藤 保典
信州大 工
-
石原 久寛
信州大学工学部
-
石原 久寛
信州大学工学部:株式会社三協精機製作所技術要素開発部
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