CAICISSによるGe/Si界面での偏析・拡散現象の評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
同軸直衝突イオン散乱分光(Coaxial impact collision ion scattering spectroscopy, CAICISS)においてシャドーイング効果を積極的に用いた組成分析手法を提案し、SiGe系ヘテロエピタキシーにおける表面偏析および相互拡散現象を原子層オーダで評価した。その結果、同手法によって表面から3〜7ML以内のGe濃度分布を評価することが可能であることを示した上で、成長温度300℃でも顕著なGeの偏析が生じること、量子ドットや超格子構造の成長に採用される500℃以上ではGe-Si原子の相互拡散が無視できないこと確認した
- 2000-12-14
著者
-
太田 淳
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
布下 正宏
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
布下 正宏
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
服部 恭典
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
[トク]田 崇
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
沖仲 元毅
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
沖仲 元毅
理化学研究所ナノサイエンス研究技術開発・支援チーム
-
太田 淳
奈良先端科学技術大学院大
関連論文
- 脳深部機能計測用埋込型スマートCMOSイメージセンサ(高機能イメージセンシングとその応用)
- 65nm CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの設計・開発 (情報センシング)
- マウス脳深部神経活動in vivo計測用マルチファンクショナルCMOSイメージセンサの開発(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- パルス変調方式を用いた in vitro 脳神経系観察用バイオイメージセンサ
- バイオイメージング向けパルス変調方式高感度イメージセンサ
- 脳機能イメージングのためのマルチファンクショナルCMOSイメージセンサの開発(高機能イメージセンシングとその応用)
- 自由行動マウス脳深部蛍光観察用CMOSイメージセンサの開発 : デバイスの実装方法とin vivo蛍光測定系の検討(立体撮像,高精細撮像,特殊撮像,および一般)
- 光学的脳神経活動計測用CMOSイメージセンサの試作(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 標準CMOSプロセスを用いたμTAS向け偏光検出イメージセンサ
- 埋め込みワイヤグリッド構造を利用した偏光計測CMOSイメージセンサ(イメージセンサ一般(IISW報告会含む))
- 網膜下埋込み方式のための光制御機能を内蔵した分散型人工視覚デバイス(イメージセンサ一般(IISW報告会含む))
- 部分領域高速読出し機能をもつ低消費電力ID受信CMOSイメージセンサを用いた情報家電マルチリモコン「オプトナビ」システムの提案(ヒューマンインフォメーション)
- 分散センサ・ネットワークによる人工視覚デバイス
- 400-Mbps×4チャネル屋内光無線LAN用ビジョンチップ(アナログ・ディジアナ・センサ,通信用LSI)
- 分散センサ・ネットワークによる人工視覚デバイス(アナログ・ディジアナ・センサ,通信用LSI)
- B-10-38 波長多重屋内光無線LANに向けたカスタムCMOSイメージセンサを用いた空間光伝送実験(B-10.光通信システムB(光通信),一般講演)
- B-10-69 「オプトナビ」システム : ID受信可能なCMOSイメージセンサを用いた情報家電用ビジュアルマルチリモコン(B-10.光通信システムB(光通信), 通信2)
- 波長多重光無線LAN用イメージセンサの検討
- 差動化によるWDM光無線LAN用ビジョンチップにおける撮像・通信モード間クロストーク低減に関する検討
- B-10-110 CMOSイメージセンサを用いた屋内光無線LANシステムII(B-10. 光通信システムB(光通信))
- イメージセンサを応用した空間光伝送用受光デバイスの設計・試作(イメージセンシング技術とその応用)
- 65nm CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの設計・開発(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- CMOS LSIを用いた人工視覚向けフレキシブル網膜刺激デバイスの開発
- 変調光検波方式イメージセンサのつぶれ・とび防止カメラへの応用
- 人工視覚を目指したCMOS LSI搭載フレキシブル網膜刺激デバイス
- アクティブ・パッシブ画素値読み出し方式を併用したCMOSイメージセンサにおける画像再構成手法とS/Nの検討(アナログ・デジアナ・センサ,通信用LSI)
- 32×32画素キャパシティブフィードバックリセット型パルス周波数変調方式低電圧ビジョンチップの試作と評価
- 人工視覚デバイスに向けたパルス周波数変調方式低電圧ビジョンチップ(光波センシング,光波制御・検出,光計測,ニューロ,一般)
- パルス周波数変調方式に基づいた低電圧・低消費電力・高ダイナミックレンジイメージセンサ
- パルス周波数変調方式イメージセンサのためのパルス領域画像処理の動作実証
- 32×32画素パルス周波数変調方式人工視覚イメージセンサ(イメージセンシング技術とその応用)
- パルズドメイン処理機能内蔵人工視覚用ビジョンチップ(企画セッション : ニューロハードウェア)
- パルスドメイン処理機能内蔵人工視覚用ビジョンチップ
- 1-bit画像処理機能をもつパルス周波数変調方式人工視覚デバイスの開発
- in vitro実験用32×32画素人工視覚再生イメージセンサの撮像評価とディジタル画像処理方式の検討
- D-7-20 パルス周波数変調方式 CMOS イメージセンサに基づく網膜下埋込型人工視覚デバイスの試作と評価
- C-12-17 32×32画素人工視覚再生用ディジタルCMOSイメージセンサ
- PFM方式AD混載人工視覚ビジョンチップ(高機能イメージセンサ)
- 埋込型人工視覚向けパルス周波数変調方式イメージセンサ : 画像出力と周波数帯域制限(固体撮像技術および一般)
- 体内埋込み型人工視覚用ビジョンチップ
- CMOSイメージセンサを用いた生体in-vivoイメージングの高コントラスト化(インタラクティブシステム・画像入力デバイス・方式,及び一般)
- 自由行動マウスの in vivo 脳神経イメージングデバイスの開発
- 埋込型CMOSイメージセンサを用いた脳内酵素発現の蛍光イメージング
- 65nm CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの性能向上(携帯電話用カメラ,デジタルスチルカメラ,ビデオカメラ(ハイビジョン)とそのためのイメージセンサ,モジュール,特別企画「CCD誕生40周年記念講演-黎明期-」)
- レーザポインタを用いたマウス機能実現の一手法
- CMOS技術による新しい埋め込み型バイオメディカルデバイス
- CMOSチップ搭載人工視覚デバイス用高性能刺激電極の作製
- 情報センシング
- 1-1. 情報センシング(1.画像エレクトロニクス,映像情報メディア年報)
- 情報センシング(画像エレクトロニクス,映像情報メディア年報)
- CDT-1-2 人工視覚デバイス(CDT-1.「五感」情報処理:アプリケーションの展望,チュートリアルセッション,ソサイエティ企画)
- 光学的脳神経活動計測用CMOSイメージセンサの試作(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 網膜下埋め込み型人工視覚プラットフォームに関する研究(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 網膜下埋め込み型人工視覚プラットフォームに関する研究(センサと応用,アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- アクティブ・パッシブ方式画素読出しの併用によるCMOSイメージセンサのダイナミックレンジ拡大手法の提案と原理実証
- MOSキャパシタを用いたPWMイメージセンサの基本特性評価(固体撮像技術および一般)
- 演算機能を有する網膜下埋め込み型人工視覚デバイス(高機能イメージセンサとその応用)
- 低電圧・低消費電力駆動ソース変調型パルス幅変調方式イメージセンサの研究(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 低電圧・低消費電力駆動ソース変調型パルス幅変調方式イメージセンサの研究(イメージセンサ,アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 光ビーコンのロバストなトラッキングと点滅周波数の推定(テーマ関連セッション6)
- 光ビーコンのロバストなトラッキングと点滅周波数の推定(テーマ関連セッション6,CV/PR技術のVRへの応用)
- ネットワークを利用した携帯型情報家電マルチリモコン「オプトナビ」システムの基本実証
- 情報家電マルチリモコン「オプトナビ」システムへのフレーム間差分に基づくID領域推定アルゴリズムの適用
- 「オプトナビ」システムに向けたカラム適応ゲインアンプを有する通常撮像・ID受信可能なCMOSイメージセンサ
- LK-008 カスタムCMOSイメージセンサを用いた情報家電用ビジュアルマルチリモコン「オプトナビ」(K分野:ヒューマンコミュニケーション&インタラクション)
- 脳深部機能計測用埋込型スマートCMOSイメージセンサ
- 傾斜面型共焦点法による3次元形状計測用CMOSセンサ
- 変調光検波方式イメージセンサの画質改善の検討(高機能イメージセンサ)
- 光無線LAN用ビジョンチップの動作検証(高機能イメージセンサ)
- BiCMOSプロセスを用いた光無線LAN用ビジョンチップの開発(固体撮像技術および一般)
- 光無線用高速ビジョンチップの開発
- 変調光検波方式イメージセンサ
- 光無線用高速ビジョンチップの開発
- 変調光検波方式イメージセンサ
- 高機能イメージセンサー : ロボットビジョンから人工視覚まで
- 電気化学計測機能を搭載したオンチップバイオセンシング用マルチファンクショナルCMOSイメージセンサ
- 電気化学計測機能を搭載したオンチップバイオセンシング用マルチファンクショナルCMOSイメージセンサ
- 「オプトナビ」システムに向けた30fps通常画像・1kfps ID画像同時撮像可能なCMOSイメージセンサ
- 情報家電ハブとしての光ナビゲーションシステムの提案(システム・アプリケーション)
- 25-2 変調光検出用ビジョンチップ
- APS・PPS方式を併用した広ダイナミックレンジCMOSイメージセンサ
- CDT-1-2 人工視覚デバイス(CDT-1.「五感」情報処理 : アプリケーションの展望,チュートリアルセッション,ソサイエティ企画)
- 受光機能搭載CMOSマルチチップ人工視覚デバイスによるウサギ網膜刺激
- 笹川清隆氏の論文紹介
- C-14-16 電界カメラに向けた差動検出イメージセンサの設計(C-14.マイクロ波フォトニクス,一般セッション)
- 人工シナプスチップデバイスを目指した電気化学CMOSチップの開発(深い感性の喚起と情報センシング,高精細撮像,高感度及び一般)
- CMOS技術によるバイオメディカルフォトニックデバイス(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
- CMOS技術によるバイオメディカルフォトニックデバイス(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
- 偏光分析CMOSセンサ搭載マイクロチャンバデバイス
- 人工視覚デバイス(バイオニックヒューマン〜生体機械融合インタフェース〜)
- CMOS LSI技術による埋め込み型生体センシング・インターフェース
- CMOSイメージセンサ技術をベースとしたバイオセンシング・バイオインターフェースチップ
- CMOS LSI技術を用いた人工視覚向けフレキシブル神経刺激デバイス
- 人工視覚向けLSI分散型電気刺激デバイス
- 埋込み型バイオイメージングセンサ
- 画素内ゲート接地型コンパレータを用いたパルス幅変調方式低電圧イメージセンサの性能評価
- LK_014 レーザーポインタを用いたPC入力システム(K分野:ヒューマンコミュニケーション&インタラクション)
- 低電圧ソース変調型パルス幅変調方式イメージセンサによる画像取得
- 人工視覚向けディジタル方式ビジョンチップアーキテクチャの検討と基礎実験
- 低電圧ソース変調型パルス幅変調方式イメージセンサによる画像取得(イメージセンサのインターフェース回路,アナログ,及び一般)