三ふっ化塩素を用いたシリコンのテクスチャ化と光学的評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Si太陽電池において表面反射損を低減するテクスチャ化を三ふっ化塩素ガスを用いたプラズマレスエッチングにより試みた. 表面の観察により, 微細な凹凸形状を確認した. 更に, 可視光の反射率測定を行い, エッチングにより反射率が約10%まで減少することがわかった.
- 1997-11-25
著者
関連論文
- 多結晶シリコン太陽電池の水素パッシベーション促進プロセス
- 4)カラーハードコピーの色調整におけるニューラルネットワークの応用(情報入力研究会)
- カラーハードコピーの色調整におけるニューラルネットワークの応用 : 情報入力
- 三フッ化塩素を用いたシリコン表面処理と光収集高効率化への応用
- 三ふっ化塩素を用いたシリコンのテクスチャ化と光学的評価
- 三ふっ化塩素を用いたシリコンのテクスチャ化と光学的評価
- 三フッ化塩素処理シリコンの表面形状と光学的評価
- 19-1 網膜モデルを用いたカラー画像の階層符号化
- 音声カップルデータ伝送の検討
- リモートプラズマを用いたシリコン酸化膜表面界面の窒化プロセス
- リモートプラズマ励起窒素・酸素を用いたシリコン窒化酸化膜の形成
- スパッタ法による酸化亜鉛薄膜形成時における酸素欠損の発生
- スパッタ法による酸化亜鉛薄膜形成時における酸素欠損の発生