AlGaN PINダイオードによる炎センサとその温度特性(<小特集テーマ>進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)

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概要

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• UV-C(波長280nm以下)を高選択に受光できれば,炎の点滅を検出できる火炎検知センサーを実現できると期待される.現状では光電材料を用いたUV-C選択受光管が使われているが,これをワイドギャップ系の半導体材料で固体化できれば高温度で動作可能となり,寿命も半永久的になる。これは、一般民生用まで火炎の検知に使える可能性も有する.本研究は材料探索から始め,AlN混晶比率が43%のAlGaNによるPINフォトダイオードによるUV-C選択受光素子は,室内照明と火炎の発光を判別を可能した.その過程のレビューと共に,最近の成果である高温での動作に影響を与える因子についても述べる.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2002-06-08

著者

• 山本 美和

  関西新技術研究所

• 天野 浩

  名城大理工

• 赤崎 勇

  名城大理工

• 平野 光

  大阪ガス開発研究部

• 西田 克彦

  京都セミコンダクター

• 平野 光

  大阪ガス 開発研究部

• 岩谷 素顕

  名城大理工

• 上山 智

  名城大理工

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