緑色発光ダイオードの時間分解エレクトロルミネッセンス測定(<小特集テーマ>進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)
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概要
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我々は電気パルスをキャリア生成に用いる時間分解エレクトロルミネッセンス測定と、光パルスを用いる時間分解フォトルミネッセンス測定を行い、InGaN量子井戸中のキャリアの再結合過程の観測を行った。これまで、半導体中のキャリアの再結合過程の観測には、主に時間分解フォトルミネッセンス計測が行われてきた。本研究で用いた時間分解エレクトロルミネッセンス測定は時間分解能3.2nsで時間分解フォトルミネッセンスと同様のキャリア緩和過程が観測でき、さらに実際のデバイスと同様、電流注入でキャリアを生成するため、キャリア注入に関係する現象も観測できる。In組成率の高い緑色発光ダイオードでは、キャリア注入後の発光エネルギーの時間変化を観測することで、In組成の不均一もキャリア再結合に関係する重要な現象であることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-06-07
著者
-
黒田 剛正
早稲田大学理工学部
-
竹内 淳
早稲田大学理工学部
-
竹内 淳
早稲田大 理工
-
山下 陽滋
スタンレー電気株式会社技術研究所
-
藪下 智仁
早稲田大学理工学部
-
堀尾 直史
スタンレー電気株式会社技術研究所
-
谷口 和与至
スタンレー電気株式会社技術研究所
-
千野根 崇子
スタンレー電気株式会社技術研究所
-
船岡 千洋
スタンレー電気株式会社技術研究所
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