透過型電子顕微鏡によるIII族窒化物薄膜結晶の極性判定(<小特集テーマ>進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)
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概要
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透過型電子顕微鏡を用いた極性の判定方法の特徴とIII族窒化物への応用について,著者らが最近得た結果を基に報告する.特に,試料結晶中の電子線強度分布の偏りを利用したTEM-EDS法と収束電子回折法(CBED)を比較した.電子線の動力学的回折強度はBroch波近似あるいはNスライス法を用いて計算した.GaAs,GaN,AlN,ZnOについて実験を行い、シミュレーション結果と比較した.その結果,2つの副格子を占有する原子の散乱因子の差が大きい場合はCBED法が、小さい場合はTEM-EDS法が有利であることが確かめられた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-06-06
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