環境計測用マイクロセンサの研究
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概要
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環境計測を目的とした薄膜半導体マイクロセンサを試作した。マイクロセンサは、ダイヤフラム構造としたSi基板上に薄膜作製技術, IC製造技術, マイクロマシーニング技術を応用した工程で作製した。感応膜は、一層目にFe_2O_3+TiO_2(5mo1%)+MgO(4mo1%)薄膜, 二層目にSnO_2+V_2O_5(4mo1%)薄膜の多層構造とした。試作したセンサは、NO_xに対して高い感度を有し、花粉やカビ, 皮膚にも感度を有することが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-06-26
著者
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