CPM2000-33 室内環境汚染物質計測用マイクロセンサの開発
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概要
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本研究では、室内環境汚染物質であるホルムアルデヒド、トルエン、キシレン、及び、汚染ガス(NOx, CO等)、を検知するセンサを開発した。マイクロセンサはダイアフラム構造としたSi基板上に、IC製造技術、マイクロマシーニング技術を応用した工程で作製した。感応膜は、1層目がFe_2O_3系薄膜、2層目がSnO_2系薄膜の多層構造とした。マイクロヒータもダイアフラム構造としたSi基板上に作成し、マイクロセンサと対向させた。
- 2000-06-16
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