表面処理した多孔質陽極酸化膜を用いた湿度センサ
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概要
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多孔質アルミナ(Al_2O_3)が感湿特性を示すことは古くから知られている。本報告では、この多孔質を用いた新しい湿度センサについて述べるこのセンサは多孔質膜の上に高周波スパッタリング法を用いて薄いAl_2O_3膜を付けた後、テフロンまたはLiClをそれぞれイオンビームスパッタ法により堆積または、薄い溶液に浸積するにより作成した。この実験の結果、湿度に対する感度はテフロンまたはLiClを付けることにより増加することがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-06-21
著者
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