ホール効果測定による半導体薄膜ガスセンサの研究(化学センサー・一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
RFスパッタリング法を用いて作製したFe_2O_3系薄膜ガスセンサは、NO_x等の環境汚染ガスや、H_2、i-C_4H_<10>等の可燃性ガスに対して感度を示すが、そのキャリア密度やホール移動度、およびそれらのガス中での変化については、不明な点が多い。そこで、そのホール効果を大気中、NO_xまたは可燃性ガスを含む大気中で測定し、キャリア密度やホール移動度がどのように変化するかを調べ、ガス検出機構について考察したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-09-09
著者
関連論文
- 室内環境汚染物質計測用マイクロセンサの開発
- CPM2000-33 室内環境汚染物質計測用マイクロセンサの開発
- サファイア基板上に製作された湿度センサ
- 半導体薄膜とPdを堆積した多孔質アルミナを用いたエチレンセンサ
- ホール効果測定による半導体薄膜ガスセンサの動作機構に関する研究
- 環境汚染ガスと浮遊粒子状物質検出用半導体薄膜センサ
- 真空遮断器バルブにおける金属粒子の拡散現象とその電極形状による影響
- 半導体薄膜を用いたエチレンセンサの低ガス濃度域における感度改善
- 半導体薄膜を用いたエチレンセンサの感度改善に関する研究
- 環境計測用マイクロセンサの研究
- 環境計測用マイクロセンサの研究
- 環境計測用マイクロセンサの研究
- 環境計測用マイクロセンサの研究
- シリコン基板上に製作された多機能湿度・ガスセンサ
- 表面処理した多孔質陽極酸化膜を用いた湿度センサ
- マイクロブリッジ構造を用いた低消費電力ガスセンサの研究
- 半導体薄膜ガスセンサのガス選択性の改善法
- ホール効果測定による半導体薄膜ガスセンサの研究(化学センサー・一般)
- センサエージェントシステムのためのセンサデバイス(センサー・一般)
- 半導体薄膜を用いた環境計測センサの開発
- 集積化ガスセンサのガス選択性の改善
- シリコン基板上に製作された集積化ガスセンサ
- 多層半導体薄膜によるNO_xセンサ
- 多層半導体薄膜によるNO_xセンサ
- 多層半導体薄膜によるNO_xセンサ
- 地中埋設管の高精度位置測定法
- ホ-ルICを用いた3相電流センサおよび零相電流センサ
- ホ-ルICを用いた帰還形電流センサ
- Si基盤上に作成したダイヤフラム形薄膜ガスセンサ (センサ機能・材料)
- 半導体式ガス・センサ--その開発の現状と今後の展望
- ホールICを用いた三相電流センサおよび零相電流センサ
- 7-7 サブミクロン光変調素子に向けた垂直磁化トンネル接合の作製(第7部門 センシング&ストレージ)