化学溶液法によるAC-PDP用誘電体保護膜の形成
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概要
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AC-PDPの低コスト化のために、化学溶液法によるAC-PDP用誘電体保護膜の形成について検討を行った。金属Mgとエチレングリコールモノメチルエーテルの反応により得られた化合物を主成分とした溶液を用い、大気中でパネル上にスピンコートし、500℃で焼成することによりMgO膜を調製した。その結果、(111)面方向に配向した透過率95%以上の膜が得られた。また、このMgO保護膜形成後に試作したPDPパネルについて放電電圧を測定した結果、この膜は電子ビーム蒸着法により調製したMgO膜と同等の特性を有することが確認できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-01-21
著者
-
堀田 裕
(株)ノリタケカンパニーリミテド研究開発センター
-
平野 眞一
Nagoya University
-
余語 利信
Division Of Nanomaterials Science Ecotopia Science Institute Nagoya University
-
余語 利信
名古屋大学工学部人工結晶研究施設
-
坂本 渉
Division Of Nanomaterials Science Ecotopia Science Institute Nagoya University
-
平野 眞一
名古屋大学大学院工学研究科化学・生物工学専攻
-
平野 眞一
名古屋大学
-
坂本 渉
名古屋大学理工科学総合研究センター
-
左合 澄人
ノリタケ
-
左合 澄人
(株)ノリタケカンパニーリミテド開発本部
-
左合 澄人
株式会社ノリタケカンパニーリミテド開発本部開発部電子課
-
余語 利信
名古屋大学エコトピア科学研究所
-
坂本 渉
名古屋大学
-
中村 智彰
名古屋大学工学研究科
-
林 真紀子
(株)ノリタケカンパニーリミテド研究開発センター
-
左合 澄人
(株)ノリタケカンパニーリミテド研究開発センター
-
Sakamoto Wataru
Res. Inst. Bioresources Okayama Univ.
-
Sakamoto Wataru
Division Of Applied Biosciences Graduate School Of Agriculture Kyoto University
-
Sakamoto Wataru
Faculty Of Agriculture Kyoto University
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